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前期清洗真空鍍膜機可以減少很多麻煩,避免濺射鍍膜機的很多小問(wèn)題,對真空鍍膜機的工作效率和鍍膜質(zhì)量有非常積極的作用。它可以大大提高真空系統中所有壁面和其他部件表面在各種工況下的工作穩定性。這些工作條件包括:高溫、低溫以及電子、離子、光子或重粒子的發(fā)射和轟擊。
與傳統的鍍膜方法相比,真空鍍膜屬于干法鍍膜,其主要方法有以下幾種:
1.真空蒸發(fā)
其原理是在真空條件下,用蒸發(fā)器加熱蒸發(fā)材料使其蒸發(fā)或升華,蒸發(fā)的離子流直接射向基片,在基片上沉積固體薄膜。
2.濺射涂層
濺射鍍膜是一種真空條件,在陰極施加2000V高壓激發(fā)輝光放電,帶正電的氬離子撞擊陰極噴出原子。濺射的原子通過(guò)惰性氣氛沉積在襯底上形成薄膜。17_副本.jpg
3.離子電鍍法
即干式螺桿真空泵制造商已經(jīng)推出的真空離子涂層。它是在上述兩種真空鍍膜技術(shù)的基礎上發(fā)展起來(lái)的,所以具有兩者的工藝特點(diǎn)。在真空條件下,工作氣體或蒸發(fā)物質(zhì)(膜材料)通過(guò)氣體放電被部分電離,蒸發(fā)物質(zhì)或其反應物在離子轟擊下沉積在基片表面。在成膜的過(guò)程中,襯底總是受到高能粒子的轟擊,這使得它非常干凈。
4.真空卷繞涂層
真空鍍膜是通過(guò)物理氣相沉積在柔性基板上進(jìn)行連續鍍膜的技術(shù),以實(shí)現柔性基板的某些功能性和裝飾性。
檢查泄漏情況是真空鍍鈦機真空度的一種檢查方法,簡(jiǎn)稱(chēng)檢漏。真空的凹凸度直接影響鍍膜的作用,因此檢漏是的。通常情況下,真空室的漏氣是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接頭引起的。抽氣系統抽氣時(shí),真空室內壓力降低。內外壓差使氣體從外部高壓流向低壓真空室,造成真空度降低。
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