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空分裝置就是用來(lái)把空氣中的各組份氣體分離,分別生產(chǎn)空氣組分的氧氣、氮氣,氬氣等等氣體的一套工業(yè)設備裝置。
其它空氣分離方法,如膜分離法、變壓吸附法(PSA)和真空變壓吸附法(VPSA)等,主要是應用于從空氣中分離單一組分。而用于半導體器件制造的高純氧、氮和氬需要低溫精餾法。同樣,稀有氣體氖、氪和氙的可行來(lái)源是也使用低溫精餾法。
因此低溫精餾法是重要的空氣分離方法。
自然界中存在一種天然硅鋁酸鹽,它們具有篩分分子、吸附、離子交換和催化作用。這種天然物質(zhì)稱(chēng)為沸石,人工合成的沸石也稱(chēng)為分子篩。分子篩的化學(xué)組成通式為:(M)2/nO· Al2O3·xSiO2·pH2O,M代表金屬離子(人工合成時(shí)通常為Na),n代表金屬離子價(jià)數, x代表SiO2的摩爾數,也稱(chēng)為硅鋁比,p代表水的摩爾數。分子篩骨架的基本結構是 SiO4和AlO4四面體,通過(guò)共有的氧原子結合而形成三維網(wǎng)狀結構的結晶。這種結合形式,構成了具有分子級、孔徑均勻的空洞及孔道。由于結構不同,形式不同,“籠”形的空間孔洞分為α、β、γ、六方柱、八面沸石等 “籠”的結構。A型、X型和Y型分子篩的晶體結構見(jiàn)圖1,圖2。
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