多功用磁控濺射鍍膜系統，由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實(shí)現蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造，使整個(gè)薄膜生長(cháng)和器材制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氣氛的系統中，消除有機大面積電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境中不穩定因素影響，保障了高功用、大面積有機光電器材和電路的制備。

塑膠具有易成型，價(jià)格便宜，質(zhì)量輕，防腐蝕等長(cháng)處，但塑膠的缺陷也比較，其缺陷也制約了塑膠的應用規模，如不美觀(guān)、易老化、機械功能差、易碎易變型、耐熱差等。經(jīng)過(guò)真空鍍膜機的應用，使塑膠外表鍍上特定膜層，東莞匯成真空自主研制出產(chǎn)的蒸發(fā)真空鍍膜設備將鍍膜機資料和塑膠產(chǎn)呂結合，大大提高了塑膠制品的物理、化學(xué)功能。

眾所周知，真空鍍膜機的運行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運行，有必要對真空鍍膜機進(jìn)行維護。那么，你知道真空鍍膜機維護的意義嗎?　　設備的日常維護就是發(fā)現生產(chǎn)中的異?，F象，盡早解決。如果發(fā)現機械泵的油量減少，應該添加。不要認為應該定期換油。否則，在進(jìn)行維護時(shí)，泵的轉子可能會(huì )嚴重磨損。比如有些軸承工件被夾住，就要更換軸承;否則壞了，問(wèn)題就嚴重了，可能會(huì )出現電機燒毀等問(wèn)題。

真空是支撐真空鍍膜機運行的環(huán)境，尤其是需要高真空度的設備。通常，我們需要達到高的真空度，而抽氣系統的功能是不可缺少的。但是除了抽氣系統之外，真空鍍膜設備的操作還有一點(diǎn)，就是工件的脫氣。有些工件內部有大量氣體和水分，在設備加熱時(shí)會(huì )排入真空室，降低真空度。更有甚者，有些氣體含有有毒成分，直接破壞真空室內部機械結構，導致設備無(wú)法正常運行。

在鍍膜的過(guò)程中，由于工件內氣體的受熱膨脹，很容易使已經(jīng)鍍膜的薄膜開(kāi)裂。當然，這種情況的概率取決于工件本身的物理性質(zhì)。比如容易膨脹的，比如塑料，概率就比較高，而對于堅硬的材料，比如金屬，概率就比較低，但也不能忽略。因此，工件的除氣是非常必要的。

在檢漏過(guò)程中，為了做好檢漏工作，有必要注意一些問(wèn)題。

，檢查虛漏是否仍為實(shí)漏，因為工件數據加熱后會(huì )出現不同程度的氣體，有可能被誤認為是從外部流出的氣體，這就是虛漏，要消除這種情況。

第二，測試真空室的氣密性功能，確保氣密性功能符合要求。

三、檢查漏孔的大小、形狀、方位、漏速，編制解決方案并實(shí)施。

四、得出檢測儀器檢漏的檢出率和靈敏度，要檢查刻度的泄漏情況，防止一些泄漏孔被疏忽，提高泄漏檢測的準確性。

五、掌握檢漏儀的反應時(shí)間和消除時(shí)間，把握好時(shí)間，檢漏儀操作到位，時(shí)間少，檢漏功能一定差，時(shí)間長(cháng)，浪費檢漏氣和人工電。

六、還要防止泄漏堵塞，有時(shí)由于操作失誤，在檢漏過(guò)程中，一些灰塵或液體將泄漏堵塞，認為孔的方向沒(méi)有泄漏，但當由于內外壓差進(jìn)展或其他原因導致泄漏孔未堵塞時(shí)，泄漏仍在那里。