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聚對二甲苯涂層材料主要有 Parylene N(聚對二甲苯)、Parylene C(聚一氯對二)和 Parylene D(聚二氯對二)三種。它是采用真空熱解氣相堆積工藝制備，可制成極薄的薄膜，主要用作薄膜和涂層，用于電子元器件的電絕緣介質(zhì)、保護性涂料和包封材料等。

氣相沉積法:摩爾比的對二與水蒸氣在高溫下作用產(chǎn)生對二雙自由基，然后導入90 °C左右的惰性溶劑中進(jìn)行吸收、蒸發(fā)溶劑濃縮降溫、結晶、過(guò)濾得對二二聚體([2.2]對環(huán)芳)，精制后，將該二聚體進(jìn)行高溫裂解產(chǎn)生雙自由基，再導入成膜室在成膜物體表面冷凝并迅速聚合，得到均勻致密的聚對二甲苯薄膜。

在MEMS應用中，聚對苯薄膜表現出一些非常有用的特性。這些特性包括：非常低的內應力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學(xué)惰性以及刻蝕選擇性。聚對二甲苯膜用作電絕緣層、化學(xué)防護層、保護層和密封層是十分理想的。聚對二甲苯已用來(lái)做微流控溝道、閥門(mén)和傳感器(加速度傳感器，壓力傳感器，麥克風(fēng)和切應力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來(lái)調控聚對二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測聚對二甲苯厚度的器與末端探測器已經(jīng)研制出來(lái)。

聚對二甲苯涂層在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì)，可以生成數百微米內任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術(shù)可以將膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性，無(wú)微孔無(wú)缺陷，化學(xué)性質(zhì)不活潑等優(yōu)良特性。

聚對二甲苯涂層可以保護重要的電子元件，允許設計人員進(jìn)一步設計更小的裝置。
目前有很多醫療器械都達到了微米甚至納米級別，帶來(lái)了種種優(yōu)勢。這些器械具有小心保護的內部電子元件，由于這些電子元件的體積非常微小，無(wú)法進(jìn)行沉降或者噴涂，也就無(wú)法采用常規的涂層。一些微小的裝置還會(huì )受到氣縫、厚度不均等不良因素的影響。對于植入式電子元件來(lái)說(shuō)，保護涂層還具有生物相容性，而聚對二甲苯涂層剛好滿(mǎn)足生物相容性，也符合FDA，對于這些微小元件起到了至關(guān)重要的作用。

聚對二甲苯是一系列具有多晶線(xiàn)性性質(zhì)的有機聚合涂層材料的類(lèi)署名，具有很好的單位厚度絕緣性，并具有化學(xué)惰性。聚對二甲苯的種類(lèi)很多，全都無(wú)需填充劑、穩定劑、催化劑和塑化劑。
因此，這些材料不會(huì )出現津析、排氣或萃取問(wèn)題，由于聚對二甲苯能氣相沉積，它可涂覆于極細微的空間和空隙，由于其分子級聚合作用，即一次一個(gè)分子附著(zhù)于沉積表面，聚對二甲苯涂層超薄，不會(huì )形成氣孔，并能敷形涂覆在元件上。聚對二甲苯還能滿(mǎn)足微小尺寸和極輕重量的裝置要求，任何用來(lái)保護微型裝置的材料都不得影響其體積或重量。聚對二甲苯不會(huì )顯著(zhù)增加質(zhì)量，這對微型植入裝置來(lái)說(shuō)是非常重要的優(yōu)勢。

聚對二甲苯成膜原理如下：固態(tài)環(huán)二體原理吸熱升華，形成氣態(tài)，在真空泵的抽力作用下，進(jìn)入裂解爐，在690度左右下，環(huán)二體的兩條C-C鏈斷開(kāi)，形成具有兩個(gè)懸空鍵的游離基團，由于電子配對作用的吸引，具有兩個(gè)游離基團的單分子聚合，形成線(xiàn)性高分子，聚合度可達5000左右。