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聚對二甲苯(Poly-p-xylene)，商品名帕里綸(Parylene)，是通過(guò)化學(xué)氣相沉積法制備的具有聚二甲撐苯撐結構的聚合物薄膜的統稱(chēng)，它有極其優(yōu)良的電性能、耐熱性、耐候性和化學(xué)穩定性

在MEMS應用中，聚對苯薄膜表現出一些非常有用的特性。這些特性包括：非常低的內應力、可以在室溫下淀積、保角涂覆、化學(xué)惰性以及刻蝕選擇性。聚對二甲苯膜用作電絕緣層、化學(xué)防護層、保護層和密封層是十分理想的。聚對二甲苯已用來(lái)做微流控溝道、閥門(mén)和傳感器(加速度傳感器，壓力傳感器，麥克風(fēng)和切應力傳感器)。通常采用控制二聚物的量來(lái)調控聚對二甲苯覆蓋層的厚度。在原位探測聚對二甲苯厚度的器與末端探測器已經(jīng)研制出來(lái)。