濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點(diǎn)在于濺射速率將成為主要參數之一。濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因為是脈沖濺射），晶向（外沿）生長(cháng)的控制也比較一般。

在鍍膜領(lǐng)域，鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜功用的一個(gè)重要因素。因此，當點(diǎn)評某薄膜樣品的功用時(shí)，需求檢測該薄膜樣品不同厚度下的功用。對于真空鍍膜的情形，這往往需求進(jìn)行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個(gè)問(wèn)題：，不同次生長(cháng)的樣品，儀器的狀況不同，以至于影響薄膜樣品功用的因素可能不僅僅是厚度;其次，真空鍍膜試驗裝取樣品需求重新進(jìn)行真空的獲得，十分耗時(shí)。增加了出產(chǎn)和檢測的本錢(qián)。

真空鍍膜機應在真空過(guò)程前對真空材料進(jìn)行清洗，去除工件或系統材料表面的污染物;車(chē)燈鍍膜機零部件表面的清潔也是很有必要的，因為污染物引起的氣體和蒸氣源不僅會(huì )使真空系統無(wú)法獲得所需的真空度。而且由于污染物的存在，還會(huì )影響真空部件連接處的強度和密封性能。

暴露在空氣中的真空鍍膜機表面容易受到污染。污染源有很多，初的污染通常是地表本身的一部分。吸附現象、化學(xué)反應、浸出干燥過(guò)程、機械處理、擴散和偏析過(guò)程都增加了各種組分的表面污染物。真空材料表面的常見(jiàn)污染物如下。

　?、儆椭?潤滑劑、切削液、真空油脂等。在加工、組裝和操作過(guò)程中被污染;

　?、谒?lèi):操作時(shí)的手汗、吹氣時(shí)的水蒸氣、唾液等。

　?、郾砻嫜趸?材料長(cháng)時(shí)間放置在空氣中或潮濕空氣中形成的表面氧化物;

　?、芩?、堿、鹽類(lèi)物質(zhì):清洗時(shí)的殘留物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等。

　?、莪h(huán)境空氣中的拋光殘渣、灰塵和其他有機物等。

在鍍膜的過(guò)程中，由于工件內氣體的受熱膨脹，很容易使已經(jīng)鍍膜的薄膜開(kāi)裂。當然，這種情況的概率取決于工件本身的物理性質(zhì)。比如容易膨脹的，比如塑料，概率就比較高，而對于堅硬的材料，比如金屬，概率就比較低，但也不能忽略。因此，工件的除氣是非常必要的。

在檢漏過(guò)程中，為了做好檢漏工作，有必要注意一些問(wèn)題。

，檢查虛漏是否仍為實(shí)漏，因為工件數據加熱后會(huì )出現不同程度的氣體，有可能被誤認為是從外部流出的氣體，這就是虛漏，要消除這種情況。

第二，測試真空室的氣密性功能，確保氣密性功能符合要求。

三、檢查漏孔的大小、形狀、方位、漏速，編制解決方案并實(shí)施。

四、得出檢測儀器檢漏的檢出率和靈敏度，要檢查刻度的泄漏情況，防止一些泄漏孔被疏忽，提高泄漏檢測的準確性。

五、掌握檢漏儀的反應時(shí)間和消除時(shí)間，把握好時(shí)間，檢漏儀操作到位，時(shí)間少，檢漏功能一定差，時(shí)間長(cháng)，浪費檢漏氣和人工電。

六、還要防止泄漏堵塞，有時(shí)由于操作失誤，在檢漏過(guò)程中，一些灰塵或液體將泄漏堵塞，認為孔的方向沒(méi)有泄漏，但當由于內外壓差進(jìn)展或其他原因導致泄漏孔未堵塞時(shí)，泄漏仍在那里。