多功用磁控濺射鍍膜系統，由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實(shí)現蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造，使整個(gè)薄膜生長(cháng)和器材制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氣氛的系統中，消除有機大面積電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境中不穩定因素影響，保障了高功用、大面積有機光電器材和電路的制備。

眾所周知，真空鍍膜機的運行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運行，有必要對真空鍍膜機進(jìn)行維護。那么，你知道真空鍍膜機維護的意義嗎?　　設備的日常維護就是發(fā)現生產(chǎn)中的異?，F象，盡早解決。如果發(fā)現機械泵的油量減少，應該添加。不要認為應該定期換油。否則，在進(jìn)行維護時(shí)，泵的轉子可能會(huì )嚴重磨損。比如有些軸承工件被夾住，就要更換軸承;否則壞了，問(wèn)題就嚴重了，可能會(huì )出現電機燒毀等問(wèn)題。

定期保養，有人會(huì )問(wèn)常規保養和定期保養的區別?事實(shí)上，每個(gè)設備都有使用壽命。例如，用于擴散泵的硅油具有大約兩年的使用壽命。我們早點(diǎn)換掉它。這是浪費嗎?不，在生產(chǎn)中，設備故障是不可能發(fā)生的事情。做好日常維護和定期保養，不僅可以延長(cháng)設備的使用壽命，還可以減少運行故障，提高生產(chǎn)效率。

真空鍍膜機應在真空過(guò)程前對真空材料進(jìn)行清洗，去除工件或系統材料表面的污染物;車(chē)燈鍍膜機零部件表面的清潔也是很有必要的，因為污染物引起的氣體和蒸氣源不僅會(huì )使真空系統無(wú)法獲得所需的真空度。而且由于污染物的存在，還會(huì )影響真空部件連接處的強度和密封性能。

真空鍍膜機的污染物可以定義為“任何一種無(wú)用的物質(zhì)或能量”。多弧離子鍍膜機根據污染物的物理狀態(tài)可分為固態(tài)、氣態(tài)和液態(tài)，污染物以薄膜或顆粒的形式存在。就其化學(xué)特性而言，它可以是離子態(tài)或共價(jià)態(tài)，無(wú)機態(tài)或有機態(tài)。

前期清洗真空鍍膜機可以減少很多麻煩，避免濺射鍍膜機的很多小問(wèn)題，對真空鍍膜機的工作效率和鍍膜質(zhì)量有非常積極的作用。它可以大大提高真空系統中所有壁面和其他部件表面在各種工況下的工作穩定性。這些工作條件包括:高溫、低溫以及電子、離子、光子或重粒子的發(fā)射和轟擊。