濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點(diǎn)在于濺射速率將成為主要參數之一。濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因為是脈沖濺射），晶向（外沿）生長(cháng)的控制也比較一般。

多功用磁控濺射鍍膜系統，由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實(shí)現蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造，使整個(gè)薄膜生長(cháng)和器材制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氣氛的系統中，消除有機大面積電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境中不穩定因素影響，保障了高功用、大面積有機光電器材和電路的制備。

關(guān)于真空鍍膜機所用的塑料材料，需要與膜層結合性高，放氣量小，受熱穩定，一起滿(mǎn)意這三個(gè)條件的塑料資料是十分少的，但塑料資料在工業(yè)出產(chǎn)中的應用卻十分廣泛，所以塑料真空鍍膜機的應用也隨之發(fā)展起來(lái)，為了使更多的塑料投入到真空鍍膜中，常常經(jīng)過(guò)各種方法改善。

聚乙烯由于真空鍍膜習慣差，但經(jīng)過(guò)改造后仍是能夠用于真空鍍膜的，但只能出產(chǎn)等級低的包裝產(chǎn)品或隔熱產(chǎn)品，聚丙烯比聚乙烯受熱更穩定，并且十分輕，所以其利用價(jià)值比較高，不過(guò)聚丙烯與膜層的結合性比較差，所以表面處理后才能進(jìn)行鍍膜，膜層作裝飾作為，使產(chǎn)品更漂亮。

眾所周知，真空鍍膜機的運行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運行，有必要對真空鍍膜機進(jìn)行維護。那么，你知道真空鍍膜機維護的意義嗎?　　設備的日常維護就是發(fā)現生產(chǎn)中的異?，F象，盡早解決。如果發(fā)現機械泵的油量減少，應該添加。不要認為應該定期換油。否則，在進(jìn)行維護時(shí)，泵的轉子可能會(huì )嚴重磨損。比如有些軸承工件被夾住，就要更換軸承;否則壞了，問(wèn)題就嚴重了，可能會(huì )出現電機燒毀等問(wèn)題。

真空鍍膜機應在真空過(guò)程前對真空材料進(jìn)行清洗，去除工件或系統材料表面的污染物;車(chē)燈鍍膜機零部件表面的清潔也是很有必要的，因為污染物引起的氣體和蒸氣源不僅會(huì )使真空系統無(wú)法獲得所需的真空度。而且由于污染物的存在，還會(huì )影響真空部件連接處的強度和密封性能。

暴露在空氣中的真空鍍膜機表面容易受到污染。污染源有很多，初的污染通常是地表本身的一部分。吸附現象、化學(xué)反應、浸出干燥過(guò)程、機械處理、擴散和偏析過(guò)程都增加了各種組分的表面污染物。真空材料表面的常見(jiàn)污染物如下。

　?、儆椭?潤滑劑、切削液、真空油脂等。在加工、組裝和操作過(guò)程中被污染;

　?、谒?lèi):操作時(shí)的手汗、吹氣時(shí)的水蒸氣、唾液等。

　?、郾砻嫜趸?材料長(cháng)時(shí)間放置在空氣中或潮濕空氣中形成的表面氧化物;

　?、芩?、堿、鹽類(lèi)物質(zhì):清洗時(shí)的殘留物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等。

　?、莪h(huán)境空氣中的拋光殘渣、灰塵和其他有機物等。
真空是支撐真空鍍膜機運行的環(huán)境，尤其是需要高真空度的設備。通常，我們需要達到高的真空度，而抽氣系統的功能是不可缺少的。但是除了抽氣系統之外，真空鍍膜設備的操作還有一點(diǎn)，就是工件的脫氣。有些工件內部有大量氣體和水分，在設備加熱時(shí)會(huì )排入真空室，降低真空度。更有甚者，有些氣體含有有毒成分，直接破壞真空室內部機械結構，導致設備無(wú)法正常運行。
在檢漏過(guò)程中，為了做好檢漏工作，有必要注意一些問(wèn)題。

，檢查虛漏是否仍為實(shí)漏，因為工件數據加熱后會(huì )出現不同程度的氣體，有可能被誤認為是從外部流出的氣體，這就是虛漏，要消除這種情況。

第二，測試真空室的氣密性功能，確保氣密性功能符合要求。

三、檢查漏孔的大小、形狀、方位、漏速，編制解決方案并實(shí)施。

四、得出檢測儀器檢漏的檢出率和靈敏度，要檢查刻度的泄漏情況，防止一些泄漏孔被疏忽，提高泄漏檢測的準確性。

五、掌握檢漏儀的反應時(shí)間和消除時(shí)間，把握好時(shí)間，檢漏儀操作到位，時(shí)間少，檢漏功能一定差，時(shí)間長(cháng)，浪費檢漏氣和人工電。

六、還要防止泄漏堵塞，有時(shí)由于操作失誤，在檢漏過(guò)程中，一些灰塵或液體將泄漏堵塞，認為孔的方向沒(méi)有泄漏，但當由于內外壓差進(jìn)展或其他原因導致泄漏孔未堵塞時(shí)，泄漏仍在那里。