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蝕刻技術(shù)其特征在于:
1.)蝕刻速率(安培/分鐘)
2.)選擇性:S=蝕刻速率材料1/蝕刻速率據說(shuō)材料2對材料1比對材料2具有S的選擇性。
3.)各向異性:A=1-橫向蝕刻速率/垂直蝕刻速率
4.)欠切:如果0.8 um的線(xiàn)是由使用1 um的光致抗蝕劑線(xiàn)作為掩模的蝕刻產(chǎn)生的,那么對于該特定的蝕刻,據說(shuō)工藝偏差是0.1um。
蝕刻是使用強酸切入金屬表面未受保護的部分,以在金屬上產(chǎn)生凹版設計(通過(guò)切割、雕刻或雕刻成平面來(lái)產(chǎn)生圖像)的過(guò)程。作為一種凹版版畫(huà)制作方法,它和雕刻一樣,是舊原版版畫(huà)重要的技術(shù),至今仍被廣泛使用。
金屬蝕刻的原理
通常所指金屬蝕刻也稱(chēng)光化學(xué)金屬蝕刻(photochemicaletching),指通過(guò)曝光制版、顯影后,將要金屬蝕刻區域內的保護膜去除,在金屬蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液,達到溶解腐蝕的作用,形成凹凸或者鏤空成型的效果。起初可用來(lái)制造銅版、鋅版等印刷凹凸版,也廣泛地被使用于減輕重量。
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