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聚對二甲苯涂層在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì),可以生成數百微米內任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術(shù)可以將膜厚精度控制在1μm。此外,真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性,無(wú)微孔無(wú)缺陷,化學(xué)性質(zhì)不活潑等優(yōu)良特性。
聚對二甲苯是一系列具有多晶線(xiàn)性性質(zhì)的有機聚合涂層材料的類(lèi)署名,具有很好的單位厚度絕緣性,并具有化學(xué)惰性。聚對二甲苯的種類(lèi)很多,全都無(wú)需填充劑、穩定劑、催化劑和塑化劑。
因此,這些材料不會(huì )出現津析、排氣或萃取問(wèn)題,由于聚對二甲苯能氣相沉積,它可涂覆于極細微的空間和空隙,由于其分子級聚合作用,即一次一個(gè)分子附著(zhù)于沉積表面,聚對二甲苯涂層超薄,不會(huì )形成氣孔,并能敷形涂覆在元件上。聚對二甲苯還能滿(mǎn)足微小尺寸和極輕重量的裝置要求,任何用來(lái)保護微型裝置的材料都不得影響其體積或重量。聚對二甲苯不會(huì )顯著(zhù)增加質(zhì)量,這對微型植入裝置來(lái)說(shuō)是非常重要的優(yōu)勢。
聚對二甲苯也叫帕利靈(Parylene)是一族由對二甲基苯合成的熱塑性塑料聚合物的通稱(chēng),它是在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì),可以生成數百微米內任何厚度的薄膜
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