化學(xué)組分上的均勻性： 就是說(shuō)在薄膜中，化合物的原子組分會(huì )由于尺度過(guò)小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果鍍膜過(guò)程不科學(xué)，那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。

濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點(diǎn)在于濺射速率將成為主要參數之一。濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因為是脈沖濺射），晶向（外沿）生長(cháng)的控制也比較一般。

關(guān)于真空鍍膜機所用的塑料材料，需要與膜層結合性高，放氣量小，受熱穩定，一起滿(mǎn)意這三個(gè)條件的塑料資料是十分少的，但塑料資料在工業(yè)出產(chǎn)中的應用卻十分廣泛，所以塑料真空鍍膜機的應用也隨之發(fā)展起來(lái)，為了使更多的塑料投入到真空鍍膜中，常常經(jīng)過(guò)各種方法改善。

塑膠具有易成型，價(jià)格便宜，質(zhì)量輕，防腐蝕等長(cháng)處，但塑膠的缺陷也比較，其缺陷也制約了塑膠的應用規模，如不美觀(guān)、易老化、機械功能差、易碎易變型、耐熱差等。經(jīng)過(guò)真空鍍膜機的應用，使塑膠外表鍍上特定膜層，東莞匯成真空自主研制出產(chǎn)的蒸發(fā)真空鍍膜設備將鍍膜機資料和塑膠產(chǎn)呂結合，大大提高了塑膠制品的物理、化學(xué)功能。

暴露在空氣中的真空鍍膜機表面容易受到污染。污染源有很多，初的污染通常是地表本身的一部分。吸附現象、化學(xué)反應、浸出干燥過(guò)程、機械處理、擴散和偏析過(guò)程都增加了各種組分的表面污染物。真空材料表面的常見(jiàn)污染物如下。

　?、儆椭?潤滑劑、切削液、真空油脂等。在加工、組裝和操作過(guò)程中被污染;

　?、谒?lèi):操作時(shí)的手汗、吹氣時(shí)的水蒸氣、唾液等。

　?、郾砻嫜趸?材料長(cháng)時(shí)間放置在空氣中或潮濕空氣中形成的表面氧化物;

　?、芩?、堿、鹽類(lèi)物質(zhì):清洗時(shí)的殘留物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等。

　?、莪h(huán)境空氣中的拋光殘渣、灰塵和其他有機物等。

工件常用的除氣方法是烘烤。工件中的氣體和水分通過(guò)加熱排出。涂裝前，工件邊抽邊加熱。當工件中的水分和氣體因受熱而釋放出來(lái)時(shí)，它們與真空室中的氣體一起被真空泵抽出。針對不同的工件采取不同的脫氣措施，可以有效控制工件內部氣體和水的排放，提高涂層的穩定性和均勻性。