真空鍍膜設備存有著(zhù)氣密性差的問(wèn)題，假如鍍膜設備維護保養進(jìn)行后，能做一次氣密性試驗，就可以規避許多不合格產(chǎn)品的造成，做到節省成本費用的效果。

鍍膜設備應該在高真空下工作，真空值的優(yōu)劣可以直接危害表層的鍍膜的質(zhì)量。有時(shí)鍍膜設備的真空值抽不出來(lái)或是真空值不太好，可能是連接頭松脫或是有焊接發(fā)生脫焊。傳統式的氣密性試驗方式應該鍍膜設備關(guān)機，充氮，再在猜測有漏的位置涂上肥皂泡，整個(gè)過(guò)程用時(shí)費事極易錯判，針對微小的泄露沒(méi)法檢驗。諾益氦質(zhì)譜檢漏儀運用氦氣做為示蹤氣體，小漏率低于5E-13Pam3/s，安全環(huán)保，檢漏時(shí)無(wú)需關(guān)機，立即在機械泵的旁通連接測漏儀便可以迅速有效的進(jìn)行檢驗了。

對比幾個(gè)真空鍍膜機的檢漏方法：
氦質(zhì)譜檢漏該工藝是真空鍍膜機真空檢漏技術(shù)里不可缺少的一種技術(shù)，因為檢漏率，簡(jiǎn)單易使用，儀器設備反映靈敏，，不容易受別的氣體的影響，在檢漏中獲得了廣泛運用。氦質(zhì)譜檢漏儀是依據質(zhì)譜學(xué)基本原理，用氮氣作示漏氣體做成的氣密性檢測儀器。由離子源、解析器、回收器、冷陰極水解規構成的質(zhì)譜分析室和吸氣系統及電氣一部分等構成。質(zhì)譜分析室里的鎢絲發(fā)送出去的電子，在房間內不停地震蕩，并與房間內空氣和經(jīng)漏孔進(jìn)入到屋內的氦氣互相撞擊使其水解成共價(jià)鍵，這種氦離子在加快靜電場(chǎng)的作用下進(jìn)入到磁場(chǎng)，因為洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉，產(chǎn)生圓弧狀軌道，更改加速電壓可使不一樣品質(zhì)的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接受縫抵達接收極而被檢驗。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在檢漏中經(jīng)常使用的這兩種方式。采用真空法檢漏，鍍膜機不需要停機，直接在真空泵的旁路利用波紋管接入檢漏儀，在懷疑有漏的地方噴氦氣，即可完成檢漏。

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真空鍍膜機為什么會(huì )越來(lái)越慢這種情況有兩種可能
1、設備內部由于長(cháng)時(shí)間鍍膜導致有些臟東西在加熱時(shí)放氣，所以這種情況需要維護，即把內部屏蔽板拆下噴砂或脫膜，清理。
2、由微小的滲漏，沒(méi)有發(fā)現，尤其是各個(gè)傳動(dòng)部位密封，這種情況就是比較難查，如果沒(méi)有檢漏儀，就只能一部分一部分拆卸或用盲板逐步替換予以排除。也有人用注射針頭注射酒精觀(guān)察真空計的變化檢查，但一般漏的不大時(shí)不好判斷，至于你說(shuō)的真空1.9的那個(gè)其實(shí)也并不高，還有就是漏率是按照你的設備體積以及單位時(shí)間的真空下降程度來(lái)算的不是按照真空值計算的，比如你的真空泵抽速好，抽氣能力強就有可能克服微漏而使真空顯示較高的數值。

真空鍍膜機的工作原理如下：
在鍍膜領(lǐng)域，鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個(gè)重要因素。因此，當評價(jià)某薄膜樣品的性能時(shí)，需要檢測該薄膜樣品不同厚度下的性能。對于真空鍍膜的情形，這往往需要進(jìn)行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個(gè)問(wèn)題：，不同次生長(cháng)的樣品，儀器的狀態(tài)不同，以至于影響薄膜樣品性能的因素可能不僅僅是厚度；其次，真空鍍膜實(shí)驗裝取樣品需要重新進(jìn)行真空的獲得，非常耗時(shí)。增加了生產(chǎn)和檢測的成本。
因此，提供一種多功能磁控濺射鍍膜系統，本系統由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合，實(shí)現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作，使整個(gè)薄膜生長(cháng)和器件制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統中，消除有機大面積電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境中不穩定因素影響，保障了、大面積有機光電器件和電路的制備。

真空鍍膜機工作的環(huán)境要求：
真空鍍膜設備要在真空條件下工作，因此該設備要滿(mǎn)足真空對環(huán)境的要求。真空對環(huán)境的要求，一般包括真空設備對所處實(shí)驗室（或車(chē)間）的溫度、空氣中的微粒等周?chē)h(huán)境的要求，和對處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個(gè)方面。
這兩個(gè)方面是有密切聯(lián)系的。周?chē)h(huán)境的好壞直接影響真空設備的正常使用；而真空設備的真空室或裝入里面的零件是否清洗，又直接影響設備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵，在真空室沒(méi)有經(jīng)過(guò)清洗的情況下用油封機械泵去抽氣，要達到預期的真空度很難的。眾所周，油封式機械泵不宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反應的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體，當大量抽除可凝性氣體時(shí)，對泵油的污染會(huì )更加嚴重，結果使泵的極限真空下降，破壞了泵的抽氣性能。
長(cháng)期回收真空鍍膜機鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)設備。

真空鍍膜工藝在信息存儲范疇中的運用薄膜資料作為信息記載于存儲介質(zhì)，有其得天厚的優(yōu)勢：因為薄膜很薄能夠疏忽渦流損耗；磁化回轉極為敏捷；與膜面平行的雙穩態(tài)狀況簡(jiǎn)單保持等。為了更精細地記載與存儲信息，必定要選用鍍膜技能。
主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組及電柜（控制電柜、電子槍電柜）組成，其廣泛應用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。
光學(xué)鍍膜設備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當的溫度，材料受熱后蒸發(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大，蒸發(fā)出來(lái)的蒸汽分子向四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。
維護與保養主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設備的清洗與保養。