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早可用來(lái)制造銅版、鋅版等印刷凹凸版,也廣泛地被使用于減輕重量(Weight Reduction)儀器鑲板,銘牌及傳統加工法難以加工之薄形工件等的加工;經(jīng)過(guò)不斷改良和工藝設備發(fā)展,亦可以用于航空、機械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工,特別在半導體制程上,蝕刻更是不可或缺的技術(shù)。
蝕刻工藝
曝光法:工程根據圖形開(kāi)出備料尺寸-材料準備-材料清洗-烘干→貼膜或涂布→烘干→曝光→ 顯影→烘干-蝕刻→脫膜→OK
網(wǎng)印法:開(kāi)料→清洗板材(不銹鋼其它金屬材料)→絲網(wǎng)印→蝕刻→脫膜→OK
在連續的板子蝕刻中,蝕刻速率越一致,越能獲得均勻蝕刻的板子。要達到這一要求,蝕刻液在蝕刻的全過(guò)程始終保持在佳的蝕刻狀態(tài)。這就要求選擇容易再生和補償,蝕刻速率容易控制的蝕刻液。選用能提供恒定的操作條件和對各種溶液參數能自動(dòng)控制的工藝和設備。通過(guò)控制溶銅量,PH值,溶液的濃度,溫度,溶液流量的均勻性(噴淋系統或噴嘴以及噴嘴的擺動(dòng))等來(lái)實(shí)現。
蝕刻技術(shù)其特征在于:
1.)蝕刻速率(安培/分鐘)
2.)選擇性:S=蝕刻速率材料1/蝕刻速率據說(shuō)材料2對材料1比對材料2具有S的選擇性。
3.)各向異性:A=1-橫向蝕刻速率/垂直蝕刻速率
4.)欠切:如果0.8 um的線(xiàn)是由使用1 um的光致抗蝕劑線(xiàn)作為掩模的蝕刻產(chǎn)生的,那么對于該特定的蝕刻,據說(shuō)工藝偏差是0.1um。
將印版和一張紙(通常會(huì )被弄濕使其變軟)一起放入高壓印刷機。紙張從蝕刻的線(xiàn)條上吸取墨水,形成印刷品。該過(guò)程可以重復多次;典型地,在印版顯示出太多磨損跡象之前,可以印刷幾百個(gè)印痕。板上的工作也可以通過(guò)重復整個(gè)過(guò)程來(lái)添加;這就產(chǎn)生了一種蝕刻,這種蝕刻以多種狀態(tài)存在。蝕刻經(jīng)常與其他凹版技術(shù)如雕刻或水彩結合使用。
蝕刻在制造業(yè)中具有廣泛的應用,可以在很多不同的產(chǎn)品中實(shí)現文字、圖案、標識等作用。例如,在生產(chǎn)手機殼時(shí),蝕刻能夠用于在金屬表面制作出觸摸感應器、攝像頭、傳感器等元件的圖案和文字。除此之外,在汽車(chē)制造中,蝕刻能夠用于在車(chē)身上制作出各種圖案,以增加美觀(guān)度和提高車(chē)輛的防護等級。
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