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磁控濺射原理:鋯靶在被濺射的靶極(陰極)與陽(yáng)極之間加一個(gè)正交磁場(chǎng)和電場(chǎng),在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣),磁鐵在靶材料表面形成250~350高斯的磁場(chǎng),同高壓電場(chǎng)組成正交電磁場(chǎng)。在電場(chǎng)的作用下,Ar氣電離成正離子和電子,靶上加有一定的負高壓,從靶極發(fā)出的電子受磁場(chǎng)的作用與工作氣體的電離幾率,在陰極附近形成高密度的等離子體,Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面,以很高的速度轟擊靶面,使靶上被濺射出來(lái)的原子遵循動(dòng)量轉換原理以較高的動(dòng)能脫離靶面飛向基片淀積成膜。 磁控濺射一般分為二種:支流濺射和射頻濺射,其中支流濺射設備原理簡(jiǎn)單,在濺射金屬時(shí),其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛,除可濺射導電材料外,也可濺射非導電的材料,同時(shí)還司進(jìn)行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射,常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。
名 稱(chēng):鋯管
規 格:Φ8.0—89.0(外直徑)╳ 1.0—10.0(壁厚)╳ L(長(cháng))mm
狀 態(tài):退火
主要性能: 抗拉強度HB>379Mpa 導熱率=0.040Cal/cm2 (可以彎成需要的形狀)
應用領(lǐng)域:油箱盤(pán)管、殼管熱交換器、熱虹吸管、蒸發(fā)器、卡口加熱器和人造絲絲囊、管殼式換熱器,列管式換熱器,加熱管,管式預熱器、化工設備反應釜盤(pán)管等。
例如:在蒸氣壓力為239000Pa,溫度為373K,管中流體含5%硫酸、3%、6%硫酸鈉的條件下,用鋯盤(pán)管代替鉛盤(pán)等,使用壽命在10年以上。
鋯管-----玻璃鋼反應釜有如下優(yōu)點(diǎn):
1、使用壽命長(cháng),至少3年以上。
2、免維護,省卻設備的維修費用及停工成本費用。
3、高工效,因鋯金屬導熱性能強,其加熱及降溫速度快。5方母液、8平方換熱面積,從120℃降至40℃不超過(guò)90分鐘。蒸汽與冷卻水可隨時(shí)切換。
4、安全性能高,由于玻璃鋼的柔韌性,不會(huì )像普通釜那樣由于掉黏而被迅速腐蝕,產(chǎn)生漏液的危險。
5、耐腐蝕性能更優(yōu),能耐住氣態(tài)氯及氣態(tài)氫的混合腐蝕,在雙甘膦及草甘膦的生產(chǎn)中優(yōu)勢更為明顯。
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