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利用磁控反應濺射技術(shù)制備氮化鉭薄膜,對磁控反應濺射制備氮化鉭薄膜的工藝參數(包括氮分壓比、加熱溫度、濺射壓力、濺射電流)用正交設計進(jìn)行優(yōu)化
氮化鉭為黑色六方結晶。相對密度為13.4,熔點(diǎn)為3090℃,顯微硬度為1100kg/mm2,熱導率為9.54W/(m·K),電阻率為128μΩ·cm
用來(lái)制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕
氮化鉭靶材----氮化鉭(Tantalum mononitride)是一種化工材料,分子式為T(mén)aN,分子量為194.95。
用來(lái)制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕。 在制造集成電路的過(guò)程中,這些膜沉積在硅晶片的頂部,以形成薄膜表面貼裝電阻
又稱(chēng)“氧化鉭”?;瘜W(xué)式Ta2O5。含O18.1%。酸性氧化物,結晶形白色粉末或無(wú)色難溶性粉末。相對密度8.2,熔點(diǎn)1872℃±10℃。有多種同素異形體,其中β-Ta2O5在1360℃以下穩定存在,斜方晶系,a=6.192×10-8cm、b=44.02×10-8cm,c=3.898×10-8cm;而α-Ta2O5在熔點(diǎn)以下穩定存在,四方晶系,a=3.81×10-8cm、c=35.67×10-8cm、c/a=9.36。不溶于水、醇、礦酸類(lèi)和堿溶液,溶于氫氟酸和熔融的堿或焦硫酸鉀。
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