多功用磁控濺射鍍膜系統，由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進(jìn)行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實(shí)現蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造，使整個(gè)薄膜生長(cháng)和器材制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氣氛的系統中，消除有機大面積電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境中不穩定因素影響，保障了高功用、大面積有機光電器材和電路的制備。

PETP聚對苯二甲酸乙二醇醋，簡(jiǎn)稱(chēng)聚酯，是繼ABS后又一種滿(mǎn)意三種條件的塑料，所鍍的膜層具有很好的拉伸強度，耐性大。PS聚苯乙烯能夠接受100℃以下的溫度，真空鍍膜的習慣性也好，無(wú)色無(wú)味，耐酸堿性，是一種十分好的絕緣資料，不過(guò)由于容易脆裂，所以用處不是很廣泛。PC聚碳酸酯也能夠進(jìn)行真空鍍膜，機械功能和抗沖擊性也好，但價(jià)格相對來(lái)說(shuō)比較高，并且在成型時(shí)如果控制欠好，容易發(fā)生開(kāi)裂。PA聚酰胺真空鍍膜后能夠防油防潮，遮光和隔熱功能也十分好，能夠作為出產(chǎn)包裝產(chǎn)品的資料。

眾所周知，真空鍍膜機的運行狀態(tài)將直接影響鍍膜產(chǎn)品的質(zhì)量。為了更好地運行，有必要對真空鍍膜機進(jìn)行維護。那么，你知道真空鍍膜機維護的意義嗎?　　設備的日常維護就是發(fā)現生產(chǎn)中的異?，F象，盡早解決。如果發(fā)現機械泵的油量減少，應該添加。不要認為應該定期換油。否則，在進(jìn)行維護時(shí)，泵的轉子可能會(huì )嚴重磨損。比如有些軸承工件被夾住，就要更換軸承;否則壞了，問(wèn)題就嚴重了，可能會(huì )出現電機燒毀等問(wèn)題。

與傳統的鍍膜方法相比，真空鍍膜屬于干法鍍膜，其主要方法有以下幾種:

　　1.真空蒸發(fā)

　　其原理是在真空條件下，用蒸發(fā)器加熱蒸發(fā)材料使其蒸發(fā)或升華，蒸發(fā)的離子流直接射向基片，在基片上沉積固體薄膜。

　　2.濺射涂層

　　濺射鍍膜是一種真空條件，在陰極施加2000V高壓激發(fā)輝光放電，帶正電的氬離子撞擊陰極噴出原子。濺射的原子通過(guò)惰性氣氛沉積在襯底上形成薄膜。17_副本.jpg

　　3.離子電鍍法

　　即干式螺桿真空泵制造商已經(jīng)推出的真空離子涂層。它是在上述兩種真空鍍膜技術(shù)的基礎上發(fā)展起來(lái)的，所以具有兩者的工藝特點(diǎn)。在真空條件下，工作氣體或蒸發(fā)物質(zhì)(膜材料)通過(guò)氣體放電被部分電離，蒸發(fā)物質(zhì)或其反應物在離子轟擊下沉積在基片表面。在成膜的過(guò)程中，襯底總是受到高能粒子的轟擊，這使得它非常干凈。

　　4.真空卷繞涂層

　　真空鍍膜是通過(guò)物理氣相沉積在柔性基板上進(jìn)行連續鍍膜的技術(shù)，以實(shí)現柔性基板的某些功能性和裝飾性。

檢查泄漏情況是真空鍍鈦機真空度的一種檢查方法，簡(jiǎn)稱(chēng)檢漏。真空的凹凸度直接影響鍍膜的作用，因此檢漏是的。通常情況下，真空室的漏氣是由腔壁上的一些孔或元件前的薄接頭引起的。抽氣系統抽氣時(shí)，真空室內壓力降低。內外壓差使氣體從外部高壓流向低壓真空室，造成真空度降低。

在檢漏過(guò)程中，為了做好檢漏工作，有必要注意一些問(wèn)題。

，檢查虛漏是否仍為實(shí)漏，因為工件數據加熱后會(huì )出現不同程度的氣體，有可能被誤認為是從外部流出的氣體，這就是虛漏，要消除這種情況。

第二，測試真空室的氣密性功能，確保氣密性功能符合要求。

三、檢查漏孔的大小、形狀、方位、漏速，編制解決方案并實(shí)施。

四、得出檢測儀器檢漏的檢出率和靈敏度，要檢查刻度的泄漏情況，防止一些泄漏孔被疏忽，提高泄漏檢測的準確性。

五、掌握檢漏儀的反應時(shí)間和消除時(shí)間，把握好時(shí)間，檢漏儀操作到位，時(shí)間少，檢漏功能一定差，時(shí)間長(cháng)，浪費檢漏氣和人工電。

六、還要防止泄漏堵塞，有時(shí)由于操作失誤，在檢漏過(guò)程中，一些灰塵或液體將泄漏堵塞，認為孔的方向沒(méi)有泄漏，但當由于內外壓差進(jìn)展或其他原因導致泄漏孔未堵塞時(shí)，泄漏仍在那里。