化學(xué)組分上的均勻性： 就是說(shuō)在薄膜中，化合物的原子組分會(huì )由于尺度過(guò)小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果鍍膜過(guò)程不科學(xué)，那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。

在鍍膜領(lǐng)域，鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜功用的一個(gè)重要因素。因此，當點(diǎn)評某薄膜樣品的功用時(shí)，需求檢測該薄膜樣品不同厚度下的功用。對于真空鍍膜的情形，這往往需求進(jìn)行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個(gè)問(wèn)題：，不同次生長(cháng)的樣品，儀器的狀況不同，以至于影響薄膜樣品功用的因素可能不僅僅是厚度;其次，真空鍍膜試驗裝取樣品需求重新進(jìn)行真空的獲得，十分耗時(shí)。增加了出產(chǎn)和檢測的本錢(qián)。

塑膠具有易成型，價(jià)格便宜，質(zhì)量輕，防腐蝕等長(cháng)處，但塑膠的缺陷也比較，其缺陷也制約了塑膠的應用規模，如不美觀(guān)、易老化、機械功能差、易碎易變型、耐熱差等。經(jīng)過(guò)真空鍍膜機的應用，使塑膠外表鍍上特定膜層，東莞匯成真空自主研制出產(chǎn)的蒸發(fā)真空鍍膜設備將鍍膜機資料和塑膠產(chǎn)呂結合，大大提高了塑膠制品的物理、化學(xué)功能。

暴露在空氣中的真空鍍膜機表面容易受到污染。污染源有很多，初的污染通常是地表本身的一部分。吸附現象、化學(xué)反應、浸出干燥過(guò)程、機械處理、擴散和偏析過(guò)程都增加了各種組分的表面污染物。真空材料表面的常見(jiàn)污染物如下。

　?、儆椭?潤滑劑、切削液、真空油脂等。在加工、組裝和操作過(guò)程中被污染;

　?、谒?lèi):操作時(shí)的手汗、吹氣時(shí)的水蒸氣、唾液等。

　?、郾砻嫜趸?材料長(cháng)時(shí)間放置在空氣中或潮濕空氣中形成的表面氧化物;

　?、芩?、堿、鹽類(lèi)物質(zhì):清洗時(shí)的殘留物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等。

　?、莪h(huán)境空氣中的拋光殘渣、灰塵和其他有機物等。

前期清洗真空鍍膜機可以減少很多麻煩，避免濺射鍍膜機的很多小問(wèn)題，對真空鍍膜機的工作效率和鍍膜質(zhì)量有非常積極的作用。它可以大大提高真空系統中所有壁面和其他部件表面在各種工況下的工作穩定性。這些工作條件包括:高溫、低溫以及電子、離子、光子或重粒子的發(fā)射和轟擊。

在鍍膜的過(guò)程中，由于工件內氣體的受熱膨脹，很容易使已經(jīng)鍍膜的薄膜開(kāi)裂。當然，這種情況的概率取決于工件本身的物理性質(zhì)。比如容易膨脹的，比如塑料，概率就比較高，而對于堅硬的材料，比如金屬，概率就比較低，但也不能忽略。因此，工件的除氣是非常必要的。