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聚對二甲苯涂層在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì)，可以生成數百微米內任何厚度的薄膜。利用真空沉積技術(shù)可以將膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉積的帕利靈具有均一性、保形性，無(wú)微孔無(wú)缺陷，化學(xué)性質(zhì)不活潑等優(yōu)良特性。
聚對二甲苯是一種有機聚合物（其基本形式為聚對二甲苯 N），僅由氫 (H) 和碳 (C) 原子組成。聚對二甲苯是疏水的，并且對幾乎所有化學(xué)物質(zhì)都有耐受性。這也適用于其他聚合物如 PTFE，但是這些非常的特性源自于非凡的生產(chǎn)技術(shù)。其中只有作為薄涂層才具有經(jīng)濟意義。該聚合物是通過(guò)氣態(tài)單體在冷的基材表面上聚合而形成的。所有液體涂層都包含氣體夾雜物，即使在表面張力較低的情況下也有局部收縮的趨勢。這會(huì )導致出現空隙、邊緣變薄和層厚度發(fā)生變化的情況。通過(guò)對直接來(lái)自氣相的聚對二甲苯進(jìn)行聚合來(lái)逐個(gè)放置分子，可實(shí)現沒(méi)有孔、沒(méi)有邊緣逸出，以及分子規模的恒定層厚度。聚對二甲苯在冷表面上聚合。由此導致基材上沒(méi)有溫度負荷。幾乎所有材料都可以通過(guò)聚對二甲苯進(jìn)行涂覆。
聚對二甲苯也叫帕利靈(Parylene)是一族由對二甲基苯合成的熱塑性塑料聚合物的通稱(chēng)，它是在室溫條件下氣相沉積獲得的薄膜物質(zhì)，可以生成數百微米內任何厚度的薄膜
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