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真空系統是鍍膜機達到工藝條件的基本設備,其真空度達不到或者達到真空度速度慢,都有可能是由于存在漏點(diǎn)所致,所以真空卷繞鍍膜機設備的真空系統需要定期真空檢漏。真空卷繞鍍膜機通常采用氦質(zhì)檢漏儀來(lái)查漏,主要用負壓法檢漏即將氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏口接入鍍膜機的真空系統,在可能泄漏地方噴氦檢漏。
真空鍍膜機為什么會(huì )越來(lái)越慢這種情況有兩種可能
1、設備內部由于長(cháng)時(shí)間鍍膜導致有些臟東西在加熱時(shí)放氣,所以這種情況需要維護,即把內部屏蔽板拆下噴砂或脫膜,清理。
2、由微小的滲漏,沒(méi)有發(fā)現,尤其是各個(gè)傳動(dòng)部位密封,這種情況就是比較難查,如果沒(méi)有檢漏儀,就只能一部分一部分拆卸或用盲板逐步替換予以排除。也有人用注射針頭注射酒精觀(guān)察真空計的變化檢查,但一般漏的不大時(shí)不好判斷,至于你說(shuō)的真空1.9的那個(gè)其實(shí)也并不高,還有就是漏率是按照你的設備體積以及單位時(shí)間的真空下降程度來(lái)算的不是按照真空值計算的,比如你的真空泵抽速好,抽氣能力強就有可能克服微漏而使真空顯示較高的數值。
真空鍍膜機的工作原理如下:
在鍍膜領(lǐng)域,鍍膜后薄膜樣品的厚度是影響薄膜性能的一個(gè)重要因素。因此,當評價(jià)某薄膜樣品的性能時(shí),需要檢測該薄膜樣品不同厚度下的性能。對于真空鍍膜的情形,這往往需要進(jìn)行多次試樣的制備。而這樣多次制備樣品存在兩個(gè)問(wèn)題:,不同次生長(cháng)的樣品,儀器的狀態(tài)不同,以至于影響薄膜樣品性能的因素可能不僅僅是厚度;其次,真空鍍膜實(shí)驗裝取樣品需要重新進(jìn)行真空的獲得,非常耗時(shí)。增加了生產(chǎn)和檢測的成本。
因此,提供一種多功能磁控濺射鍍膜系統,本系統由真空鍍膜系統和手套箱系統集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進(jìn)行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實(shí)現蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個(gè)薄膜生長(cháng)和器件制備過(guò)程高度集成在一個(gè)完整的可控環(huán)境氛圍的系統中,消除有機大面積電路制備過(guò)程中大氣環(huán)境中不穩定因素影響,保障了、大面積有機光電器件和電路的制備。
我公司經(jīng)營(yíng)范圍:
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