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真空鍍膜機生產(chǎn)線(xiàn)設備是目前制作真空條件應用為廣泛的真空設備,一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成,排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。本公司從事真空鍍膜設備的研發(fā)與生產(chǎn)擁有經(jīng)驗豐富的技術(shù)團隊及的售后服務(wù)隊伍為您解決設備在使用過(guò)程中遇到的任何問(wèn)題。
真空鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)設備真空主體——真空腔根據加工產(chǎn)品要求的各異,真空腔的大小也不一樣,目前應用多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔體由不銹鋼" target=_blank>不銹鋼材料制作,要求不生銹、堅實(shí)等,真空腔各部分有連接閥,用來(lái)連接各抽氣泵浦。
真空鍍膜機生產(chǎn)線(xiàn)設備輔助抽氣系統:排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分,主要有由機械泵、增壓泵(主要介紹羅茨泵)、油擴散泵三大部分組成。此排氣系統采用“擴散泵+機械泵+羅茨泵+低溫冷阱+polycold”組成。排氣流程為:機械泵先將真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空狀態(tài),為擴散泵后繼抽真空提供前提,之后當擴散泵抽真空腔的時(shí)候,機械泵又配合油擴散泵組成串聯(lián),以這樣的方式完成抽氣動(dòng)作。
真空鍍膜設備生產(chǎn)線(xiàn)它的運作原理其實(shí)很簡(jiǎn)單。就是通過(guò)真空狀態(tài)下正交磁場(chǎng)使電子轟擊氬氣形成的氬離子再轟擊靶材,靶材離子沉積于工件表面成膜。如此車(chē)燈鍍膜機廠(chǎng)家就該考慮與膜層厚度的均勻性有關(guān)的有真空狀態(tài)、磁場(chǎng)、氬氣這三個(gè)方面。真空狀態(tài)就需要抽氣系統來(lái)控制的,每個(gè)抽氣口都要同時(shí)開(kāi)動(dòng)并力度一致,這樣就可以控制好抽氣的均勻性,如果抽氣不均勻,在真空室內的壓強就不能均勻了,壓強對離子的運動(dòng)是存在一定的影響的。另外抽氣的時(shí)間也要控制,太短會(huì )造成真空度不夠,但太長(cháng)又浪費資源,不過(guò)有真空機的存在,要控制好還是不成問(wèn)題的。
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